教員メッセージ

LSI、ナノデバイスの加工に使われるプラズマ装置の電極や光源として使われる放電ランプの電極材料を研究しています。これまでにプラズマを用いて製作した電極材料は、高密度プラズマが得られる酸化マグネシウム膜、電子放出の優れたカーボンナノチューブ、ディスプレイ用透明導電膜としてアルミニウムを少量添加した酸化亜鉛などです。また一般の電極にプラズマを用いて微細な凹凸加工を施し、電子放出面積を大きくすることによって低い駆動電圧を実現しています。電極材料のほかにLSIなど半導体の微細加工に使われるプラズマの研究や、プラズマ中の原子の状態を計測する簡単な方法を提案し検証しています。照明分野ではLEDランプに比べ太陽光に近い、人にやさしい光空間を得られる細管蛍光ランプや殺菌用紫外線ランプの低電圧化と高い発光効率を目指して研究をしています。

主な研究テーマ

• ・放電用電極材料の製作及び放電評価
• ・微細加工用プラズマ
• ・プラズマ計測技術
• ・細管放電ランプの高効率化