教員メッセージ

光源や半導体プロセスに利用されるプラズマについて研究しています。光源関連では、殺菌灯や液晶ディスプレイのバックライトに使われている細管蛍光ランプについて、低消費電力駆動で高輝度化を目指した研究を行っています。これらの研究で、ノートパソコンを使う場合に1回の充電で使える時間が延びます。また、液晶TVは従来より明るく高精彩な画面を楽しむことができます。半導体プロセス関連では、LSIなどの超微細加工に使われるプラズマ中の粒子や電子を調べるためにレーザーや質量分析装置を用いた実験をしています。

主な研究テーマ

• ・放電ランプの高効率化
• ・放電ランプの長寿命化
• ・放電ランプの電極材料の研究
• ・半導体の微細加工用プラズマの研究